SolidSpec-3700/3700DUV

Die Lösung für Applikationen aus dem Bereich Optik, Halbleiter und FPD (Flat Panel Display)
 

 

Hohe Empfindlichkeit

 
Das SolidSpec 3700/ 3700DUV wurde für Messungen mit höchster Empfindlichkeit entwickelt. Es war das erste UV-VIS-NIR Spektrophotometer mit drei Detektoren: einem Photomultiplier-(PMT) Detektor im ultravioletten und sichtbaren Bereich sowie zusätzlich einem InGaAs- und einem PbS-Detektor für den nahen Infrarot Bereich. Der Einsatz der InGaAs- and PbS-Detektoren erhöht die Empfindlichkeit im Bereich des nahen Infrarot extrem.
 
 
 
 

Großer Wellenlängenbereich

Das SolidSpec-3700DUV besitzt die Fähigkeit, im tiefen Ultraviolett bis hinunter zu 165 nm in Transmission (Sonderausstattung) zu messen oder bis zu 175 nm mit einer Integrationskugel, wobei die Optik wie auch der gesamte Probenraum mit gasförmigem Stickstoff gespült wird. Das gesamte Gerät wird aus Materialien hergestellt, welche nur eine sehr geringe Absorption von UV-Licht bis 165nm zeigen. Somit erschließt sich ein Messbereich von 3300 nm bis 165 nm.
 
 
 
 

Großer Probenraum

Ein großer Probenaufnahmeraum (900 x 700 x 350 mm (b x t x h)) erlaubt es, auch große Proben zerstörungsfrei zu analysieren - und zwar in horizontaler Lage aufgrund des vertikalen Strahlenganges. Bei Nutzung des automatischen X-Y-Tisches (Sonderausstattung) wird die gesamte Fläche für Proben wie zum Beispiel 300mm-Waver aus der Halbleiterindustrie messbar.